Passivierung von Aluminiumnitridsubstraten

EP2319070 Art A2 11. Mai 2011

Anmelder: North Carolina State University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2319070
Aktenzeichen
EP09790902
Anmeldetag
29. Juli 2009
Veröffentlichung
11. Mai 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/314H01L33/00C30B33/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
North Carolina State University
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 North Carolina State University

US-amerikanische öffentliche Universität in Raleigh mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Technikwissenschaften.

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