Elektrostatische Futteranordnung

EP2321846 Art A2 18. Mai 2011

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2321846
Aktenzeichen: EP09807085
Anmeldetag: 6. August 2009
Veröffentlichung: 18. Mai 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687B23Q3/15H02N13/00H01L21/68H01L21/683H01L21/67B23Q3/154H01L23/14H01L23/367H01L23/373

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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