Verfahren zur Formung eines organischen Polymerdünnfilms und Vorrichtung zur Formung eines organischen Polymerdünnfilms
EP2322688
Art B1
29. Juni 2016
Anmelder: Kojima Press Industry Co., Ltd., ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2322688
- Aktenzeichen
- EP10251791
- Anmeldetag
- 13. Oktober 2010
- Veröffentlichung
- 29. Juni 2016
- Erteilung
- 29. Juni 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/12C23C14/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kojima Press Industry Co., Ltd.
ULVAC, INC. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Vertreten von
Naylor, Matthew John
London, Großbritannien
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