Vorrichtung und Verfahren zur thermischen Verdampfung von Silicium
EP2325348
Art B1
24. Oktober 2012
Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., CreaTec Fischer & Co. GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2325348
- Aktenzeichen
- EP09014510
- Anmeldetag
- 20. November 2009
- Veröffentlichung
- 24. Oktober 2012
- Erteilung
- 24. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/24
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
CreaTec Fischer & Co. GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Max-Planck-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.
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