Sputter-Vorrichtung

EP2325349 Art A1 25. Mai 2011

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2325349
Aktenzeichen: EP09811389
Anmeldetag: 13. August 2009
Veröffentlichung: 25. Mai 2011
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34H01J37/34H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von