Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung und Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur

EP2325694 Art B1 8. November 2017

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2325694
Aktenzeichen: EP09813128
Anmeldetag: 10. September 2009
Veröffentlichung: 8. November 2017
Erteilung: 8. November 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039G03F7/004G03F7/38H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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