Vorrichtung und Methode zur Bestimmung des Höhenprofils einer Oberfläche anhand interferometrischer und nicht-interferometrischer Messungen.
EP2327953
Art B1
19. Juni 2013
Anmelder: Mitutoyo Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2327953
- Aktenzeichen
- EP09176626
- Anmeldetag
- 20. November 2009
- Veröffentlichung
- 19. Juni 2013
- Erteilung
- 19. Juni 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B9/02G01B9/04G01B11/24G02B27/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Mitutoyo Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitutoyo Corporation
Mitutoyo ist ein japanischer Hersteller von Präzisionsmessgeräten mit Sitz in Kawasaki. Die Patente betreffen Messtechnik, Koordinatenmessgeräte und Sensorik.
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Eveleens Maarse, Pieter
Den Haag, Niederlande
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