Positive Lichtempfindliche Harzzusammensetzung, Verfahren zur Herstellung einer Resiststruktur und deren Verwendungen
EP2328027
Art B1
17. Januar 2018
Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2328027
- Aktenzeichen
- EP09811513
- Anmeldetag
- 2. September 2009
- Veröffentlichung
- 17. Januar 2018
- Erteilung
- 17. Januar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/023G03F7/004G03F7/40H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi Chemical Company, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi Chemical
Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.
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Vertreten von
Adam, Holger
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