Lithografische Vorrichtung und Lithografisches Verfahren
EP2329322
Art B1
7. September 2016
Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2329322
- Aktenzeichen
- EP09740535
- Anmeldetag
- 21. September 2009
- Veröffentlichung
- 7. September 2016
- Erteilung
- 7. September 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands BV
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
Fachgebiete
Vertreten von
Weenink, Willem
Veldhoven, Niederlande
78
Patente gesamt
4
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte