Filter für die Gewährleistung der Spektralen Reinheit, Lithografische Vorrichtung, und Verfahren zur Herstellung Dieses Filters

EP2329323 Art A1 8. Juni 2011

Anmelder: ASML Netherlands BV, Koninklijke Philips N.V., Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2329323
Aktenzeichen
EP09778133
Anmeldetag
26. August 2009
Veröffentlichung
8. Juni 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G02B5/20G21K1/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands BV
Koninklijke Philips N.V.
Koninklijke Philips Electronics N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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Niederländisches Technologieunternehmen mit Sitz in Amsterdam, spezialisiert auf Medizintechnik, Diagnosegeräte, Patientenüberwachung sowie Gesundheits- und Wellnessprodukte.

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