Einstellbarer Wärmekontakt zwischen einem Elektrostatischen Futter und einem Heissen Kantenring durch Aktivierung eines Kopplungsrings
EP2329521
Art A2
8. Juni 2011
Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2329521
- Aktenzeichen
- EP09816793
- Anmeldetag
- 23. September 2009
- Veröffentlichung
- 8. Juni 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/368H01L21/687H05H1/34H01L21/67H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
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3
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