Verfahren zur Chemischen Behandlung eines Substrats
Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., SCHOTT Solar AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2335275
- Aktenzeichen
- EP09783544
- Anmeldetag
- 29. September 2009
- Veröffentlichung
- 11. Dezember 2013
- Erteilung
- 11. Dezember 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F1/00H01L21/67H01L21/00H01L31/18H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
SCHOTT Solar AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
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