Verwendung einer Zusammensetzung, umfassend ein Silan mit einer Oniumgruppe, zur Bildung einer Resistunterschichtfolie, Resistunterschichtfolie und Methoden zur Bildung eines Resistmusters

EP2336256 Art A1 22. Juni 2011

Anmelder: Nissan Chemical Corporation, Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2336256
Aktenzeichen: EP09808226
Anmeldetag: 13. August 2009
Veröffentlichung: 22. Juni 2011
Rechtsraum: EP
IPC: C09D183/08C09D201/00G03F7/11H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nissan Chemical Corporation
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von