Sulfonyl-Fotosäuregeneratoren und diese Fotosäuregeneratoren enthaltende Fotoresiste

EP2336826 Art B1 24. Oktober 2012

Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2336826
Aktenzeichen
EP10194879
Anmeldetag
14. Dezember 2010
Veröffentlichung
24. Oktober 2012
Erteilung
24. Oktober 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Rohm and Haas Electronic Materials LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Rohm and Haas

Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.

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