Methode zur Herstellung eines Ionen-Implantierten Halbleitersubstrates

EP2336827 Art B1 16. September 2015

Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2336827
Aktenzeichen
EP10195067
Anmeldetag
15. Dezember 2010
Veröffentlichung
16. September 2015
Erteilung
16. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/039H01L21/365
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Rohm and Haas Electronic Materials LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Rohm and Haas

Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.

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Kanzlei
Patent Outsourcing Limited

Sitz im englischen Bakewell in Derbyshire, Kanzlei aus UK Chartered und European Patent Attorneys mit eigener Industrieerfahrung. Spezialisiert auf europäische Patentanmeldung sowie Einspruchs- und Beschwerdeverfahren für US-amerikanische und europäische Firmenkunden.

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