Zylinderförmiges Sputtertarget und Verfahren zu Seiner Herstellung

EP2339046 Art B1 12. Februar 2014

Anmelder: Tosoh Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2339046
Aktenzeichen: EP09816133
Anmeldetag: 18. September 2009
Veröffentlichung: 12. Februar 2014
Erteilung: 12. Februar 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tosoh Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

707 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Kügele, Bernhard Onex, Schweiz

599

Patente gesamt

28

Fachgebiete

11

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik

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