Verfahren zur Herstellung eines Substrats zur Verwendung bei der Halbleiterverarbeitung

EP2339617 Art A1 29. Juni 2011

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2339617
Aktenzeichen: EP09180518
Anmeldetag: 23. Dezember 2009
Veröffentlichung: 29. Juni 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/78H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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