Optisches Gitter für ein Hochpräzises und Hochauflösendes Verfahren für Nanoherstellung in Halbleiterscheibengrösse

EP2340148 Art A1 6. Juli 2011

Anmelder: Cornell University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2340148
Aktenzeichen
EP09813558
Anmeldetag
9. September 2009
Veröffentlichung
6. Juli 2011
Rechtsraum
EP
IPC
B23Q17/09
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cornell University
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cornell University

Die Cornell University ist eine private Universität in Ithaca, New York (USA), die in Forschung und Lehre über zahlreiche natur- und ingenieurwissenschaftliche Fachrichtungen aktiv ist.

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Kanzlei
SR Huebner PatentanwaltsG mbH München, Deutschland

SR Huebner ging als Ausgründung aus dem Max-Planck-Institut für internationales Patent-, Urheber- und Wettbewerbsrecht hervor. Über die Hälfte der Verfahren betrifft Länder außerhalb Europas wie USA, Japan und China, mit Standorten in München und Mannheim.

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