Projektionsobjektiv für eine Projektionsbelichtungsanlage

EP2341391 Art A3 17. August 2011

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2341391
Aktenzeichen: EP11002522
Anmeldetag: 20. Januar 2003
Veröffentlichung: 17. August 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B17/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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