Die Verwendung von einer Zusammensetzung zur Bildung eines Unterschichtfilms für die Lithographie

EP2343597 Art B1 5. August 2015

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2343597
Aktenzeichen: EP11164060
Anmeldetag: 1. April 2004
Veröffentlichung: 5. August 2015
Erteilung: 5. August 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11C08G59/40H01L21/027G03F7/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von