Verfahren zur Erzeugung der Darstellung eines Objekts mittels Teilchenstrahl sowie eine Teilchenstrahlvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
EP2343726
Art B1
16. April 2014
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Carl Zeiss NTS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2343726
- Aktenzeichen
- EP10196658
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2010
- Veröffentlichung
- 16. April 2014
- Erteilung
- 16. April 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153H01J37/28H01J37/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
Carl Zeiss NTS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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Fachgebiete
Vertreten von
Tongbhoyai, Martin
Köln, Deutschland
91
Patente gesamt
24
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7
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Schwerpunkte