Verfahren zur Herstellung eines Siliciumdünnfilm-Übertragungsisolationswafers

EP2343729 Art B1 30. November 2016

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2343729
Aktenzeichen
EP09823666
Anmeldetag
29. Oktober 2009
Veröffentlichung
30. November 2016
Erteilung
30. November 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L27/12H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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