Verfahren zum Durchführen von Fotolithografie unter Verwendung von Barcs mit Graduierten Optischen Eigenschaften
EP2347304
Art B1
24. Juli 2013
Anmelder: Advanced Micro Devices, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2347304
- Aktenzeichen
- EP09741161
- Anmeldetag
- 21. Oktober 2009
- Veröffentlichung
- 24. Juli 2013
- Erteilung
- 24. Juli 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Advanced Micro Devices, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Micro Devices
US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Brookes Batchellor LLP · London