Temperaturausgleichsvorrichtung und Verfahren für einen MEMS-Resonator

EP2348633 Art A1 27. Juli 2011

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2348633
Aktenzeichen
EP11151680
Anmeldetag
21. Januar 2011
Veröffentlichung
27. Juli 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H03H9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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