Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung eines Flachen Substrats
EP2351064
Art A1
3. August 2011
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Leybold Optics GmbH, Ruhr-Universität Bochum 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2351064
- Aktenzeichen
- EP09765014
- Anmeldetag
- 4. November 2009
- Veröffentlichung
- 3. August 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Leybold Optics GmbH
Ruhr-Universität Bochum - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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Pohlmann, Bernd Michael
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