Vorrichtung zur Detektion von Mikrorissen in Wafern
EP2351073
Art B8
7. November 2018
Anmelder: Applied Materials, Inc., Bluplanet Pte Ltd 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2351073
- Aktenzeichen
- EP09829413
- Anmeldetag
- 15. Mai 2009
- Veröffentlichung
- 7. November 2018
- Erteilung
- 7. November 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
Bluplanet Pte Ltd - Land
- 🇺🇸 USA
Vertreten von
Andrews, Paul David
Glasgow, Großbritannien
144
Patente gesamt
30
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB · München
-
Wise, Stephen James
NoneGlasgow