System, Verfahren und Vorrichtung zur Auswahl und Steuerung einer Lichtquellenbandbreite
EP2351169
Art B1
12. Dezember 2018
Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2351169
- Aktenzeichen
- EP09822830
- Anmeldetag
- 24. Oktober 2009
- Veröffentlichung
- 12. Dezember 2018
- Erteilung
- 12. Dezember 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S3/10G01J3/02G01J3/06G01J3/14G01J3/18G02B5/18H01S3/08H01S3/1055H01S3/106G01J3/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Cymer, LLC
Cymer, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cymer
Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.
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