Verfahren und Vorrichtung zur Lasersteuerung bei einem Zweikammern-Gasentladungslaser

EP2351170 Art A1 3. August 2011

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2351170
Aktenzeichen: EP09822307
Anmeldetag: 20. Oktober 2009
Veröffentlichung: 3. August 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/13H01S3/104

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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