Optische Bestrahlungsvorrichtung und optisches Bestrahlungsverfahren für die Nanoimprintlithographie
EP2354846
Art A3
25. März 2015
Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha, Ushiodenki Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2354846
- Aktenzeichen
- EP11000620
- Anmeldetag
- 26. Januar 2011
- Veröffentlichung
- 25. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F7/20B82Y10/00B82Y40/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Ushiodenki Kabushiki Kaisha - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ushio Inc.
Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.
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