Laserablationsbearbeitung anhand Verstreuter Struktierter Masken

EP2359389 Art A2 24. August 2011

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2359389
Aktenzeichen: EP09827940
Anmeldetag: 13. Oktober 2009
Veröffentlichung: 24. August 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F1/00G03F7/24B23K26/06G03F1/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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