Verfahren zur Herstellung eines Polymerstempels zum Abformen von Vorrichtungen mit Mikro- und Nanostrukturen, zugehöriger Polymerstempel und zugehörige Vorrichtung

EP2360115 Art B1 6. Juni 2012

Anmelder: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, Consejo Superior de Investigaciones Científicas, Consejo Superior De Investigaciones Cientificascs CSIC 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2360115
Aktenzeichen: EP10194892
Anmeldetag: 14. Dezember 2010
Veröffentlichung: 6. Juni 2012
Erteilung: 6. Juni 2012
Rechtsraum: EP
IPC: B81C99/00// H01M8/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH
Consejo Superior de Investigaciones Científicas
Consejo Superior De Investigaciones Cientificascs CSIC
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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