Verfahren und Vorrichtung zur Ablagerung atomarer Schichten auf einem Substrat
EP2360293
Art A1
24. August 2011
Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2360293
- Aktenzeichen
- EP10153381
- Anmeldetag
- 11. Februar 2010
- Veröffentlichung
- 24. August 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/54C23C16/455C23C16/458
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)
Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.
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Vertreten von
Hatzmann, Martin
Den Haag, Niederlande
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