Strukturierungsverfahren mittels EB- oder EUV-Lithographie

EP2360527 Art B1 23. August 2017

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2360527
Aktenzeichen: EP11001082
Anmeldetag: 10. Februar 2011
Veröffentlichung: 23. August 2017
Erteilung: 23. August 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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