Temperaturmesssystem mit einer resonanten MEMS-Vorrichtung

EP2362199 Art A1 31. August 2011

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2362199
Aktenzeichen
EP10166586
Anmeldetag
18. Juni 2010
Veröffentlichung
31. August 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G01K7/32H03H9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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