Vorrichtung und Verfahren zum reaktiven Ionenätzen
EP2362411
Art A1
31. August 2011
Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2362411
- Aktenzeichen
- EP10155103
- Anmeldetag
- 1. März 2010
- Veröffentlichung
- 31. August 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01L21/3065C23C16/455H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)
Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.
3.163 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hatzmann, Martin
Den Haag, Niederlande
2.064
Patente gesamt
34
Fachgebiete
35
Anmelder-Länder
Schwerpunkte