Elektrostatische Kupplungsanordnung und Verfahren zur Bestimmung des Adsorbierten Zustands des Wafers

EP2362415 Art A1 31. August 2011

Anmelder: Creative Technology Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2362415
Aktenzeichen: EP09811420
Anmeldetag: 26. August 2009
Veröffentlichung: 31. August 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683H02N13/00B23Q3/15

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Creative Technology Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇸🇬 Creative Technology

Creative Technology ist ein Elektronikkonzern aus Singapur, bekannt für Audio- und Multimedia-Produkte wie Sound Blaster. Der Patentbestand liegt vor allem in Nachrichtentechnik, Software sowie Akustik- und Datenspeichertechnik, ergänzt um Halbleiterbauelemente. Die Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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