Herstellungsverfahren für eine MEMS Verkapselung, und Oszillator

EP2363374 Art A3 14. März 2012

Anmelder: Seiko Instruments Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2363374
Aktenzeichen
EP11156692
Anmeldetag
2. März 2011
Veröffentlichung
14. März 2012
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Seiko Instruments Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Seiko Instruments

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chiba, tätig in den Bereichen Präzisionsinstrumente, Uhren und elektronische Bauteile.

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