Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauelement mit Opferschichtentfernung mittels Eindringung von Ätzmittel durch eine poröse Schicht.
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2364953
- Aktenzeichen
- EP11157318
- Anmeldetag
- 8. März 2011
- Veröffentlichung
- 10. Mai 2017
- Erteilung
- 10. Mai 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Stammsitz in Nizza, zusätzlich in Grenoble, Sophia Antipolis, Paris und mit Vertretung in Monaco. Zugelassen bei INPI, EPA, WIPO und dem monegassischen Patentamt, mit breiter Mandantschaft von Start-ups bis Großkonzernen.