Drehbares Target, Stützrohr, Sputter-Installation und Verfahren zur Herstellung eines drehbaren Targets

EP2365515 Art A1 14. September 2011

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2365515
Aktenzeichen: EP10155977
Anmeldetag: 9. März 2010
Veröffentlichung: 14. September 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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