Hohlkathoden-Plasmaquelle sowie Verwendung der Hohlkathoden-Plasmaquelle

EP2367196 Art B1 3. Juni 2015

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2367196
Aktenzeichen: EP11001998
Anmeldetag: 10. März 2011
Veröffentlichung: 3. Juni 2015
Erteilung: 3. Juni 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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