Hf-Sputteranordnung
EP2368258
Art B1
20. Dezember 2017
Anmelder: Evatec AG, Oerlikon Advanced Technologies AG, OC Oerlikon Balzers AG 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2368258
- Aktenzeichen
- EP09796812
- Anmeldetag
- 20. November 2009
- Veröffentlichung
- 20. Dezember 2017
- Erteilung
- 20. Dezember 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Evatec AG
Oerlikon Advanced Technologies AG
OC Oerlikon Balzers AG - Land
- 🇨🇭 Schweiz
Fachgebiete
Vertreten von
Schweiger, Martin
München, Deutschland
469
Patente gesamt
31
Fachgebiete
25
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Schäfer, Horst
NoneMünchen