Bearbeitungssystem, insbesondere für eine Reinraum-Bearbeitungsanlage, sowie Umsetzvorrichtung hierfür

EP2368261 Art A2 28. September 2011

Anmelder: ASYS AUTOMATIC SYSTEMS GMBH & CO. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2368261
Aktenzeichen
EP09759679
Anmeldetag
24. November 2009
Veröffentlichung
28. September 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/677H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASYS AUTOMATIC SYSTEMS GMBH & CO. KG
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Müller, Gottfried Schorndorf, Deutschland
121
Patente gesamt
16
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Medizintechnik & Gesundheit Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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