Verfahren zur Abscheidung von Mikrokristallinem Silizium auf einem Substrat

EP2368275 Art A2 28. September 2011

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2368275
Aktenzeichen: EP09801654
Anmeldetag: 18. November 2009
Veröffentlichung: 28. September 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/042H01L31/18H01L31/075

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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