Herstellung einer Schutzschicht durch Partikel Niedriger Energie

EP2368282 Art B1 25. März 2015

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2368282
Aktenzeichen: EP09756677
Anmeldetag: 18. November 2009
Veröffentlichung: 25. März 2015
Erteilung: 25. März 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/10C23C14/46H01L21/56H01L51/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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