Rutheniumverbindung, Verfahren zu Ihrer Herstellung, Verfahren zur Herstellung einer Rutheniumhaltigen Dünnschicht damit sowie Rutheniumhaltige Dünnschicht
EP2371832
Art B1
16. November 2016
Anmelder: Tosoh Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2371832
- Aktenzeichen
- EP09834838
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2009
- Veröffentlichung
- 16. November 2016
- Erteilung
- 16. November 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L49/02B01J31/22H01L21/28C07F15/00H01L21/285C23C16/18C07F17/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tosoh Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tosoh Corporation
Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.
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