Endblock und Zerstäubungsvorrichtung

EP2371992 Art B1 5. Juni 2013

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2371992
Aktenzeichen: EP10159023
Anmeldetag: 1. April 2010
Veröffentlichung: 5. Juni 2013
Erteilung: 5. Juni 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34H01J37/34F16C19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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