Reflektor, optisches Element, Interferometersystem, Objektivtischvorrichtung, Belichtungsgerät und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP2372408 Art A3 29. August 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2372408
Aktenzeichen: EP11159534
Anmeldetag: 28. Juni 2006
Veröffentlichung: 29. August 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08G01B9/02G03F7/20H01L21/027H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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