Positive Lichtempfindliche Harzzusammensetzung, Verfahren zur Herstellung einer Resiststruktur, Halbleiterbauelement und Elektronisches Bauelement
EP2372457
Art B1
26. November 2014
Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2372457
- Aktenzeichen
- EP09834751
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2009
- Veröffentlichung
- 26. November 2014
- Erteilung
- 26. November 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/023G03F7/004G03F7/40H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi Chemical Company, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi Chemical
Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.
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Vertreten von
Adam, Holger
München, Deutschland
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Albrecht, Thomas
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