Vorrichtung zum Stützen eines drehbaren Targets und Sputter-Installation

EP2372744 Art B1 13. Januar 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2372744
Aktenzeichen: EP10159022
Anmeldetag: 1. April 2010
Veröffentlichung: 13. Januar 2016
Erteilung: 13. Januar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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