Vorrichtung zum Abdichten von einem Kammereinlass oder einem Kammerauslass für ein flexibles Substrat, Substratverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Anordnung solch einer Vorrichtung

EP2374914 Art B1 22. Juli 2015

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2374914
Aktenzeichen: EP10159259
Anmeldetag: 7. April 2010
Veröffentlichung: 22. Juli 2015
Erteilung: 22. Juli 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56B29C37/00F16K7/10H01J37/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von